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台积订购最新High-NA曝光机

admin2022-10-202

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在英特尔宣布未来将导入全球第一款量产型高数值孔径极紫外光曝光机后,业界传出台积电也已下单。微影设备大厂艾司摩尔19日在法人说明会中证实并指出,已接获更多High-NA EUV曝光机EXE: 5200设备订单,所有的EUV现有客户都已下单订购。

台积电已是全球拥有最大EUV产能的半导体厂,3奈米如期在下半年进入量产,2奈米研发进度亦略有提前。台积电2奈米采用奈米层片的环绕闸极电晶体架构,业界传出亦将首度采用High-NA EUV微影技术量产。

台积电已在竹科宝山二期兴建Fab 20超大型晶圆厂,将成为2奈米生产重镇,共兴建4座12吋厂,预计2024年下半年进入风险性试产,2025年进入量产。业界指出,台积电仍持续扩大采购EUV设备,包括明年下半年推出的NXE: 3800E及2025年推出NXE: 4000F新机型,同时已下单采购High-NA EUV曝光机。

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